PE原子吸收光譜儀可測(cè)定多種元素，火焰原子吸收光譜法可測(cè)到10-9g/mL數(shù)量級(jí)，石墨爐原子吸收法可測(cè)到10-13g/mL數(shù)量級(jí)。其氫化物發(fā)生器可對(duì)8種揮發(fā)性元素汞、砷、鉛、硒、錫、碲、銻、鍺等進(jìn)行微痕量測(cè)定。
目前，PE原子吸收光譜儀主要是由五部分組成，分別為激發(fā)光源、原子化器、單色器、檢測(cè)與控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，此外還有儀器背景校正系統(tǒng)。
1、光源：
原子吸收光譜儀的光源主要有空心陰極燈和無極放電燈兩種。
①空心陰極燈：這種燈是目前普遍應(yīng)用的光源，是由一個(gè)鎢棒陽極和一個(gè)內(nèi)含有待測(cè)元素的金屬或合金的空心圓柱形陰極組成的。兩極密封于充有低壓惰性氣體帶有窗口的玻璃管中。接通電源后，在空心陰極上發(fā)生輝光放電而輻射出陰極所含元素的共振線。
②無極放電燈：這種燈是把被測(cè)元素的金屬粉末與碘一起裝入一根小的石英管中，封入267～667Pa壓力的氬氣。將石英管放于2450MHz微波發(fā)生器的微波諧振腔中進(jìn)行激發(fā)。這種燈發(fā)射的原子譜線強(qiáng)，譜線寬度窄，測(cè)定的靈敏度高，是原子吸收光譜法中性能較為突出的光源。
2、原子化器：
可分為預(yù)混合型火焰原子化器、石墨爐原子化器、石英爐原子化器、陰極濺射原子化器。
①火焰原子化器：由噴霧器、預(yù)混合室、燃燒器三部分組成；其特點(diǎn)是操作簡(jiǎn)便、重現(xiàn)性好；
②石墨爐原子化器：是一類將試樣放置在石墨管壁、石墨平臺(tái)、碳棒盛樣小孔或石墨坩堝內(nèi)用電加熱至高溫實(shí)現(xiàn)原子化的系統(tǒng)；
③石英爐原子化系統(tǒng)：是將氣態(tài)分析物引入石英爐內(nèi)在較低溫度下實(shí)現(xiàn)原子化的一種方法，又稱低溫原子化法。它主要是與蒸氣發(fā)生法配合使用；
④陰極濺射原子化器：是利用輝光放電產(chǎn)生的正離子轟擊陰極表面，從固體表面直接將被測(cè)定元素轉(zhuǎn)化為原子蒸氣。
3、單色器：
單色器的性能是指色散率、分辨率和集光本領(lǐng)。分出被測(cè)元素譜線。由凹面反射鏡、狹縫或色散元件組成；色散元件為棱鏡或衍射光柵；
4、檢測(cè)與控制系統(tǒng)：
檢測(cè)器用來完成光電信號(hào)的轉(zhuǎn)換，即將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，檢測(cè)器一般用光電倍增管，近年來固體檢測(cè)器也開始得到應(yīng)用。控制系統(tǒng)用來控制和協(xié)調(diào)光譜各部件工作，AAS大部分采用單片機(jī)或通用PC機(jī)控制。
5、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：
通過PC機(jī)軟件實(shí)現(xiàn)信號(hào)積分、連續(xù)平均值、峰高、峰面積的記錄，同時(shí)計(jì)算出多次測(cè)量的平均值及相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差，對(duì)工作曲線采用不同的擬合，打印輸出測(cè)量結(jié)果等。
